Anonim

"Resultatene er en viktig mulighet for ytterligere skalering av NAND-blitz-teknologi mot 10nm halvtone-noden og utover, " sa det belgiske laboratoriet.

Flash er blitt nedskalert til den 19 nm halvtone noden som for tiden er i produksjon.

Fra slike dimensjoner kan kontrollporten imidlertid ikke lenger pakkes rundt den flytende porten, og oppfordrer til en plan flytende portarkitektur, sier Imec. "Men planlegging av teknologien resulterer i en redusert kobling av kontroll- og flytende porter."

n

Følgelig forringes ytelsen på grunn av lekkasje gjennom det inter-poly dielektrikum.

For å gjenopprette ytelsen i plane enheter, har Imec utviklet en hybrid flytende portarkitektur med et lite arbeidsfunksjonsmateriale i bunnen og et høyt arbeidsfunksjonsmateriale øverst.

ITEMID-55426-getasset
Den ultratynne hybrid flytende porten med høy-k interportal dielektrisk forlengende blitsskalering utover 10nm